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2001年12月11，滬上微電科長實(shí)驗(yàn)室將進(jìn)行一次曝光系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)。

之前一再提到過，光刻機(jī)最核心的兩個東西是鏡頭和光源，而今天這場實(shí)驗(yàn)的目的，倒不是說直接就搞定了鏡頭光源，這是不可能的，地表最強(qiáng)組合成立才半年，國家項(xiàng)目下來后的大佬加盟更是不過兩個月的時間。

即便2001年的光刻機(jī)技術(shù)攻堅要比2019年容易很多，但也不至于這么快。今天這個實(shí)驗(yàn)的目的，是為了進(jìn)一步證明浸沒式光刻機(jī)的發(fā)展方向是正確的。

之前紀(jì)凱論證了浸沒式光刻機(jī)的可行，但更多是屬于理論上的結(jié)論。

這就好比林本堅帶著理論找到尼康的時候人家并不搭理他，理論終究是理論，還是需要上升到實(shí)際運(yùn)用的。

所以這次實(shí)驗(yàn)的目的一是進(jìn)一步證明了方向正確后，可以給大家更大的信心，浸沒式光刻機(jī)可以突破現(xiàn)在整個光刻機(jī)行業(yè)的瓶頸，搞定米國人和霓虹人搞不定的事，如果這個東西真的可行，對華夏這個領(lǐng)域的科研人員來說意義極其重大。

而在這個基礎(chǔ)上，就可以更放心的投入更大的財力和精力了，特別是想要讓國家投入更多的話。

上午9點(diǎn)，長實(shí)驗(yàn)室內(nèi)，有一臺看著明顯要比光刻機(jī)粗糙很多的東西。進(jìn)一步的驗(yàn)證研究方向的正確和實(shí)際生產(chǎn)出一臺光刻機(jī)的最大區(qū)別就在于，不需要真的完成芯片的光刻行為，只需要能順利采集一些數(shù)據(jù)即可。

而這種區(qū)別就會帶來設(shè)備上的巨大區(qū)別，比如精密機(jī)械方面，實(shí)驗(yàn)不需要達(dá)到納米級的自動化機(jī)械水平，你甚至拿手cāo)控都行。

但有些東西還是會有要求的，比如光源質(zhì)量。

9點(diǎn)整，實(shí)驗(yàn)準(zhǔn)備開始，孟謙則繼續(xù)翻看徐國華的筆記本。

徐國華的筆記本上記錄的不僅僅只是他的經(jīng)歷，他之所以跟孟謙說看看自己的筆記本能不能幫到自己，是因?yàn)樯厦孢€記錄著他這么多年的技術(shù)積累。

就比如他參與到公司光刻機(jī)項(xiàng)目之后之后...

“2001年9月19

提升光刻機(jī)分辨率的方法有三個，縮短波長，增加數(shù)值孔徑，減小K1因子。前段時間，江大帶來的浸沒式光刻機(jī)概念，可以大大提升折率，從而增加數(shù)值孔徑。

為了更好的配合全新的浸沒式光刻機(jī)概念，我們與長光所合作，在激光器上實(shí)現(xiàn)了巨大突破。

我們研發(fā)了一種高功率193nm準(zhǔn)分子激光器，使用氟氣、氬氣以及氦氣混合氣體作為工作介質(zhì)，可輸出ArF最大脈沖激光能量424毫焦耳，總功率基本穩(wěn)定在1%。激光器由內(nèi)徑8.4cm的玻璃鋼圓筒做成，總長94cm。

電極采用張氏均勻場型面電極，電極有效平取寬5mm，電極長80cm，兩電極之間距離2.1cm。”

此時的長實(shí)驗(yàn)室。

“王院士，供電系統(tǒng)已經(jīng)準(zhǔn)備完畢。”

“開始實(shí)驗(yàn)。”

...

“2001年11月17，晴。

王院士的加入讓團(tuán)隊(duì)信心大增，30多名科研人員連續(xù)攻堅一個月，終于在光束穩(wěn)定技術(shù)上取得了成果。

此次的光束穩(wěn)定系統(tǒng)包括光束測量和光束轉(zhuǎn)向兩大核心功能模塊，在推導(dǎo)了兩個模塊之間的光束傳遞矩陣后，王院長非常大膽的決定搭建光電閉環(huán)控制系統(tǒng)，通過引入已知光束偏移量后，數(shù)據(jù)顯示，系統(tǒng)的指向穩(wěn)態(tài)誤差低于±3μrad，位置穩(wěn)態(tài)誤差低于±0.04mm，系統(tǒng)調(diào)整時間小于80ms。

實(shí)驗(yàn)結(jié)果令人振奮。”

“2001年11月28，晴。

由長光所和江大共同組建的擴(kuò)束系統(tǒng)小組帶來了好消息，全新設(shè)計的系統(tǒng)可以滿足光束在5-20m傳輸光路范圍內(nèi)不需要進(jìn)行透鏡間隔調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)光斑大小和發(fā)散角滿足設(shè)計要求，保證目標(biāo)光束口徑在mm范圍內(nèi)，X方向發(fā)散角為1.2mrad，Y方向發(fā)散角為1.84mrad。

該項(xiàng)研究將對光刻機(jī)研發(fā)產(chǎn)生巨大影響。”

此時的長實(shí)驗(yàn)室。

“王院士，光源能量穩(wěn)定，光斑數(shù)據(jù)正常。”

“打開遮光器。”

“是。”

...

“2001年12月1，晴。

今天從江大的李教授提出了一個前沿的研究，針對準(zhǔn)分子光源特，提出了基于光棒和復(fù)眼的實(shí)現(xiàn)對掩膜面高均勻照明的兩種方法。

針對入準(zhǔn)分子激光強(qiáng)度的波動和強(qiáng)度分布的隨機(jī)，提出采用陣列型照明模式變換元件對光束進(jìn)行變換，以實(shí)現(xiàn)各種照明模式下光瞳的對稱和一致。

研究了相干因子調(diào)整系統(tǒng)中可能存在的各種誤差源對相干因子、光瞳橢圓度、光瞳極平衡、遠(yuǎn)心度的影響。”

“2001年12月5，晴。

清華，燕航以及長光所成功合作研制了全新衍光學(xué)元件，極大的降低了雜散光的影響，全新的算法將為我們自主研發(fā)的光刻機(jī)提供強(qiáng)有力的技術(shù)支持。”

此時的長實(shí)驗(yàn)室。

“王院士，可以進(jìn)行數(shù)據(jù)采集了。”

“開始吧。”

“是。”

...

“2001年1月8，晴。

這是意義深遠(yuǎn)的一天，物鏡高數(shù)值孔徑和極小的系統(tǒng)波像差矛盾一直都是光刻機(jī)物鏡領(lǐng)域的最大難點(diǎn)。

現(xiàn)在通過非球面元件和反元件的配合，我們有望突破這一技術(shù)難點(diǎn)，雖然這一次的元件基本是在霓虹國定制的，但解決了上游難題，下游元件的自研只是時間問題。”

...

通過徐國華的筆記本，孟謙基本了解了光刻機(jī)項(xiàng)目這半年的研發(fā)況和主要成就，雖然只有半年的時間，還無法實(shí)現(xiàn)更全面的自研自產(chǎn)，但一個又一個核心技術(shù)的突破，是華夏科研力量最好的展現(xiàn)，

光刻機(jī)設(shè)計的核心技術(shù)實(shí)在太多了，光是一個曝光系統(tǒng)涉及的專利就能有上千個，曾經(jīng)那一世，這些核心技術(shù)基本上跟華夏都沒什么關(guān)系。

但現(xiàn)在，在華夏的土地上，科研力量正在光刻機(jī)領(lǐng)域生根發(fā)芽。

光刻機(jī)這塊大骨頭，正在一點(diǎn)一點(diǎn)的被華夏科研人員啃食。

這只是半年的成就，一年后，兩年后，五年后呢？

孟謙內(nèi)心翻滾，曾經(jīng)那一世，他沒有機(jī)會也沒有資格見證華夏老一輩科研者的實(shí)力，這一世，他是何其幸運(yùn)，可以親眼目睹。

中午，送餐的人來了，孟謙小心翼翼的將徐國華的筆記本放回到抽屜里。

“孟總，幾點(diǎn)了？”這是徐國華今天第五次問這個問題了。

“11點(diǎn)半。”孟謙把菜盒打開，“至少得到晚上才能出結(jié)果吧，徐老師再耐心等等。”

午飯后，一晚沒睡的孟謙迷了一覺，下午三點(diǎn)，因?yàn)楸蛔o(hù)士查房吵醒，孟謙簡單洗了把臉繼續(xù)等待。

傍晚五點(diǎn)，孟謙跟徐國華終于等來了兩個風(fēng)風(fēng)火火的腳步聲。

“孟總，老徐！”梁志國一進(jìn)門，臉上已經(jīng)寫滿了答案。

孟謙懸了一天的心終于放下，“梁老師說說具體況吧。”

梁志國坐到病旁，一臉的亢奮，“浸沒式光刻機(jī)這個方向應(yīng)該確實(shí)沒有錯，而且從今天的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)分析來看，浸沒式光刻機(jī)極有可能把光刻機(jī)工藝向前推3-4代！”

徐國華大為震驚，孟謙則配合著震驚一下，“接下去的研發(fā)計劃是什么？”

“挖人！”

“嗯？什么意思？”孟謙不是很理解梁志國的意思。

梁志國解釋道，“我們現(xiàn)在把能整合的力量都整合起來了，但這也就暴露了我們在某些方面的人才空白現(xiàn)實(shí)，光刻機(jī)的細(xì)分領(lǐng)域太多，雖然不可能全部自研，但幾個相對核心的領(lǐng)域我們不能放手。

所以對于一些人才空白的核心領(lǐng)域，現(xiàn)在從頭開始培養(yǎng)肯定來不及了，只能靠挖人。”

“你們打算去哪挖？”

“我們已經(jīng)整理過各大高校的校友資源了，這些空白領(lǐng)域在國外都有些對應(yīng)的人才。”

孟謙聽明白了梁志國的意思，“可他們要回國早回國了吧，叫的回來么？”

“只要有用武之地，自然會有人回來。”

孟謙點(diǎn)頭，梁志國都這么說了，他也不多質(zhì)疑，“對了，有一件事梁老師記得去辦一下。”

“什么？”

“申請專利。”

“放心，我們這次的研究都已經(jīng)申請了專利。”

“不僅僅只是我們的研究，而是圍繞我們的研究，把能申請的專利都申請了，我要的效果就是以后別人想搞浸沒式光刻機(jī)，就是想用水都得得到我的點(diǎn)頭！”

“額...”梁志國跟朱衛(wèi)軍對視了一眼，“孟總，這不是...搞技術(shù)流氓么？”

“對啊，咱以后的主要對手就是個流氓，跟流氓競爭，難不成還跟他講道理？他能講道理見了鬼了。

你們盡管耍流氓去，我是老板，以后世人要罵，隨便罵我，反正我無所謂。”

梁志國跟朱衛(wèi)軍又對視了一眼，用眼神交流了一會兒后，最終決定就按孟謙說的去做。

就在這時，門外又傳來一陣腳步聲，梁志國的學(xué)生拎著幾個菜和三瓶二鍋頭進(jìn)門。

梁志國接過酒菜，笑道，“不管怎么說，今天是個大喜的子，整點(diǎn)？”

“好啊。”孟謙自然不拒絕。

只是徐國華一臉委屈道，“老梁，你故意饞我是不是？”

“哈哈哈，你那份我替你喝了。”

雖然表面上表現(xiàn)的還算平靜，但事實(shí)上四個人內(nèi)心的翻滾都是強(qiáng)烈的，這酒一喝就有點(diǎn)喝高了。

晚上梁志國的學(xué)生留下來陪徐國華，三人則一起回酒店休息去了。

徐國華自然是一點(diǎn)酒都沒沾，在梁志國的學(xué)生去送他們?nèi)藭r，取出了抽屜里的筆記本，用筆寫道。

“2001年12月12，晴。

我國光刻機(jī)領(lǐng)域取得了跨時代的突破...”

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